工作原理
Alicat層流壓差式質量流量計與高可調比的電磁比例閥結合,再配合高效率的PID控制算法,組成氣體質量流量控制-反饋回路,實現(xiàn)氣體質量流量的監(jiān)控,這就是Alicat MFC的工作原理。
除了質量流量控制模式,Alicat MFC還可以切換到體積流量控制器模式,壓力(絕壓或表壓)控制模式,在對應的控制模式下可以實現(xiàn)不同參數(shù)變量的控制。
主要特點
Alicat 質量流量控制器具有以下特點:
1.響應快:特殊的結構和工作原理,最快可達到100ms響應,響應時間與實際工況和PID參數(shù)設置有關,可通過調節(jié)PID值改變響應速度和流量穩(wěn)定度。
2.無需預熱:上電即可使用,無需提前預熱,節(jié)省了等待時間。
3.多參數(shù)測量/控制:內(nèi)置溫度、壓力傳感器,可同時顯示氣體壓力、溫度、質量流量、體積流量等多種參數(shù),可選擇控制質量流量、體積流量或壓力。如果選配了累計流量功能,還可以控制批量氣體累計流量。
4.背光液晶屏:具有單色或彩色液晶屏,帶屏幕背光燈,可以更直觀的查看實時數(shù)據(jù),方便讀數(shù)和調試。
5.支持上百種氣體:內(nèi)置100多種氣體的校準數(shù)據(jù),切換氣體模式后即可測量/控制不同氣體,無需換算或重新校準。
6.通訊和操作模式:有多種數(shù)字通訊和模擬信號模式可供選擇,以便采集和記錄數(shù)據(jù),也有面板按鍵可手動操作調試。
7.精度:普通精度為±(0.8%讀數(shù)+0.2%量程);高精度為±(0.4%讀數(shù)+0.2%量程)。
8.量程:量程范圍寬,可定制。常規(guī)流量計最小量程為0~0.5SCCM,最大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。
型號系列
Alicat質量流量控制器產(chǎn)品有多種不同系列,以滿足不同客戶和應用的需求。
典型應用
1. 氣體混合、稀釋,標準氣體發(fā)生器流量控制。常用型號:MC, MCR, MCS, Basis。
2. 大氣采樣儀、分析儀器氣體流量控制。常用型號:MC,MCS,MCR。
3. 燃燒控制,火焰溫度控制。常用型號:MC, MCR, MCRW, Basis。
4. 氮化爐、多用爐內(nèi)氣氛控制。常用型號:MCR,MCRS,LCS。
5. 光伏制造,多晶硅爐氣氛控制。常用型號:MCH,MCR。
6. 生物發(fā)酵罐氣氛控制。常用型號:MC,Basis。
7. 新能源、燃料電池測試系統(tǒng)。氣體流量或壓力控制。常用型號:MC, MCR, PCR。
8. 光纖制造。常用型號:MC。
9. 泄漏檢測。常用型號:MC,MCW,MCD。
10. 真空鍍膜。常用型號:MC,MCV。
11. 高壓應用。常用型號:MCQ。
選型參數(shù)
為了選擇適合你應用的質量流量控制器,我們需要確定以下參數(shù)。
如果您有應用或選型方面的疑問,歡迎聯(lián)系我們,我們誠摯的希望可以幫到您!